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検査装置のタカノ、直径10μm、ピッチ20μmまでのマイクロバンプの高さと径を同時に検査可能な検査装置「ALTAX-300EX」　半電子部材市場全体へ展開　2022年12月14日より販売開始

2022年12月6日 13:00

タカノ株式会社(本社：長野県上伊那郡宮田村、代表取締役社長：鷹野準)は、新たに開発した自社製高速カメラを用いることで、直径10μm、ピッチ20μmまでのマイクロバンプの高さと径を全数検査できる装置「ALTAX-300EX」を2022年12月14日(水)より販売開始いたします。

直径10μm、ピッチ20μmまでのマイクロバンプを全数検査できる装置「ALTAX-300EX」

＜製品特長＞

・タカノでは自社製の新開発高速カメラを用いることで、直径10μm、ピッチ20μmまでのウェーハのマイクロバンプにおいて3D＋2Dの同時全数検査を行うことができます。

・12inchウェーハまでの検査を実現したことでディスクリートから高集積デバイスまで電子部材市場全体への展開も実現できます。

【製品開発の背景】

半導体チップの微細化が難しくなっているため、デバイス性能の向上には異なるデバイスを1つのパッケージ内に組み込む技術の開発が進んでいます。実際に2.5Dや3Dパッケージ基板の開発が進み、チップと電極をつなぐため、マイクロバンプの実製品への投入が始まっています。

マイクロバンプの形成方法もボール実装や印刷、露光エッチング等様々な方法が開発されているため、従来のバンプであればチップ内のある1ヶ所の特定箇所にまとまって配置されていましたが、マイクロバンプはチップ内の複数箇所にレイアウトされている場合もあります。

通常、高倍率でのウェーハ全面検査には検査時間が長くかかってしまうため、全数検査をするには検査装置を複数台購入する必要があり、検査工程に今まで以上にコストがかかってしまう懸念がありました。そこで、タカノでは新たに開発した自社製高速カメラを用いることで、直径10μm、ピッチ20μmまでのマイクロバンプを高速で全数検査ができる検査装置「ALTAX-300EX」を開発いたしました。

〈製品ページ〉

https://www.takano-kensa.com/kensa/products/semiconductor/altax-300ex/

【製品の概要】

■製品名　　　：ALTAX-300EX

■製品仕様　　：・主な測定項目：バンプ高さ、バンプ径

　　　　　　　　・バンプ径　　：≧10μm

　　　　　　　　・バンプピッチ：≧20μm

■発売日　　　：2022年12月14日(水)

■想定する業界：・国内外の半導体メーカー向け

【タカノについて】

「製造業から『創造業』へ」

ばねの製造に始まり、オフィス家具、エクステリア製品へ。そして先進のエレクトロニクス製品、さらには医療・福祉関連製品へ。タカノは次々に新分野への参入を実現し、常に新しい製品の開発にチャレンジしてきました。この展開力こそがタカノの特色であり、発展の源です。